目前高熵合金靶材的制备主要有专用熔炼法和粉末冶金法。

       特种熔炼法：把一定比例的合金原料熔炼，然后把合金液浇注到模具内，形成铸锭，再经过机械加工制成靶材，在真空下进行铸造。常用的熔炼方法有真空感应熔炼、真空电弧熔炼和真空电子轰击熔炼等，优点是：靶材杂质含量低，密度高，可大型化；缺点是：靶材的两个或多个熔点与密度差较大，常规熔炼难以获得成分均匀的合金靶材。

       粉末冶金法：按一定比例的合金原料熔炼，浇注成锭后粉碎，等静压成型，然后进行高温烧结，最后形成靶材，优点是靶材组成均匀，缺点是密度低，杂质含量高，常用的粉末冶金方法有冷压、真空热压、热压等静压粉末冶金。

       高熵合金靶材制造工艺：采用金属熔炼、粉末冶金、非金属粉末法，采用真空熔炼、普通热压、冷压烧结等成型方法，经锻造、热轧或冷轧，再进行热处理以消除型材的应力，均匀或均匀地烧结，或通过高温烧结以提高其致密性，然后车、铣、刨、磨等加工工序，再清洗、烘干，最终制成成品。有时，在某些目标被表面金属化后，也可根据需要使用无氧铜背板进行固定。最后通过超声波或X光检查、包装、工厂检验。